物理氣相沉積/化學機械拋光設備,製造金屬互聯層並使其平坦化。計量與檢測設備,確保每一步工藝的精確性。清洗設備,每一步工藝後都需要徹底清洗晶圓。
如果不是兩位老人在計算成本的時候,一一給張煥解說列舉,張煥也不會那麼清楚。
之前是大方向製定計劃,現在是真的深入踏足其中了。
此時是2012年,國內設備商如七星華創、北微、中微、中電科等才剛剛起步,產品大多隻能滿足部分中低端需求。
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